Comprehensive surface defect inspection,Create your leading and unique equipment functions
资料收集自动化/智能化/科学化建立多层次/关联性分析图像与数据结合/实时监控制程稳定度
1)旭锠大数据平台可从客户的设备或资料库中自动收集生产及检测的图像及相关数据进行多种/前后关联性的分析。
借由数据的分析进而发觉产线潜在的异常,及早针对可能的不良现象进行事先的防堵及改善。
2)可设定当发生NG时,或Defect等级脱离防线时,或指定的状况发生时可以通过例如邮件/手机短信等方式通知用户
3)例如可以分析每个晶片上同位置的Die发生的不同类型的缺陷图
4)可以贯穿所有信息和数字, 并进行一站式的整体分析.
CIS宽幅线扫相机
嵌入/在线式智能AOI系统
独立/离线式智能AOI设备
智能工厂/大数据分析服务